يستخدم فرن ترسيب البخار الكيميائي للسيليكون لتلبيخ المواد المركبة الكربونية والكربون. المعدات البيروليز غاز مصدر الكربون لجعل التشكيل كثيف أو المطلي. من بينها ، معدات ترسيب البخار السريع (CVI) لديها استخدام أعلى للكربون وكفاءة إنتاج أعلى.