يستخدم فرن ترسيب البخار الكيميائي للسيليكون لتلبيخ المواد المركبة الكربونية والكربون. المعدات البيروليز غاز مصدر الكربون لجعل التشكيل كثيف أو المطلي. من بينها ، معدات ترسيب البخار السريع (CVI) لديها استخدام أعلى للكربون وكفاءة إنتاج أعلى. يمكن استخدام فرن ترسيب البخار الكيميائي هذا (كربيد السيليكون) لطلاء مضادات الأكسدة وتعديل الركيزة للمواد مع ترايكلوروسيلان (MTS) كمصدر للغاز.

الميزات الرئيسية لفرن ترسيب بخار CVD:

1. يمكن أن يتحكم استخدام تقنية التحكم المتقدمة بدقة في تدفق وضغط الغاز ، وتدفق غاز الترسيب في الفرن مستقر ، ومدى تقلب الضغط صغير ؛

2. استخدام غرفة الترسب المختومة مربع الجرافيت له تأثير ختم جيد وقدرة قوية لمكافحة القبعة ؛

3. استخدام مسار غاز ترسب متعدد القنوات له مجال تدفق موحد ، لا يوجد ركن ميت ترسب ، وتأثير ترسب جيد ؛

4. يمكن علاج الغاز الذيل للغاية ، والغاز القابل للاشتعال والمتفجر ، والغبار الصلب ، والمنتجات اللزجة النقطة المنخفضة الناتجة عن الترسب ؛

5. تصميم وحدة فراغ مكافحة التآكل له وقت عمل مستمر طويل ومعدل صيانة منخفض.

6. يمكن لآلية دوران الشغل الفريدة في الفرن أن تضمن بفعالية توحيد مادة ترسب المنتج.

نطاق التطبيق:

يمكن استخدام فرن ترسيب بخار مادة الكربون والكربون لترسيب البخار الكيميائي للمواد المركبة مع غاز الهيدروكربون (مثل C3H8 ، وما إلى ذلك) كمصدر للكربون ، مثل معالجة ترسب بخار CVD للمواد المركبة C/C ، المواد المركبة SIC ، إلخ.

مزايا منتج الشركة:

1. درجة عالية من الأتمتة ، يمكن تحقيق بديل واحد في الزر (الفراغ في الفرن ، وعملية تدفق غاز الأرجون) ، والمراقبة التلقائية للمياه ، والكهرباء والغاز أثناء التشغيل ، يمكن لمحاكاة الشاشة التي تعمل باللمس أن تلاحظ حالة تشغيل المعدات في أي وقت ، ومؤشر إنذار المعدات ، ومنحنى التدفئة ، والطاقة قيد التشغيل وتشغيلها على شاشة اللمس.

2. المواد الحقيقية ، يتم تصنيع جسم الفرن وخطوط الأنابيب من 316 من الفولاذ المقاوم للصدأ المقاوم للتآكل أو رذاذ Teflon المضاد للتآكل ، ويتم اختباره قبل مغادرة المصنع. مقاومة جيدة للتآكل وأداء الختم.

3. السلامة العالية ، تم تجهيز جسم الفرن بصمام الانفجار التلقائي ، وهو آمن وموثوق. يتم تثبيت مفتاح التدفق بشكل منفصل على جزء المستشعر لمراقبة تدفق المياه في الوقت الفعلي. يحدد مصدر الطاقة بشكل صارم وفعال القيمة الزائدة والقيمة الزائدة على الجهد كما هو مطلوب.

4. يمكن مراقبة واجهة المراقبة المتكاملة للمعدات عن بُعد على جانب الكمبيوتر. يمكن للمدير مراقبة حالة تشغيل المعدات في أي وقت واسترداد سجلات تشغيل المعدات ومعلمات المعالجة.